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真空ポンプ
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

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分　解　・　内　部　確　認 ケーシング、ローターにガスによる腐食が見られる

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内　部　清　掃　（不 具 合 ヵ 所 補 修） ケレン作業、対腐食塗装

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消 耗 部 品 の 交 換 ・ 組 　立 ベアリング・シール部品の交換、クリアランス等 調整

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試　運　転　・　能　力　試　験
1.　機　密　診　断
　　(リーク テスト)

2.　能　力　測　定
　 (吸　排　気　量)

3.　振　動　・騒　音

4.　温　度　測　定
　（ケーシング温度・冷却水温度)

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

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